上海良薇申请液态源输送系统专利，提升管路清洗洁净度

金融界2025年4月29日消息，国家知识产权局信息显示，上海良薇机电工程有限公司申请一项名为“一种液态源输送系统、方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119879084A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本发明涉及一种液态源输送系统、方法及半导体工艺设备，液态源输送系统包括第一储液单元、第二储液单元、第三储液单元、第四储液单元、第一动力气体供应单元、第二动力气体供应单元、第一吹扫气体供应单元、第二吹扫气体供应单元和第一真空单元。其优点在于，第一吹扫气体供应单元可将第三储液单元内的溶解液压入第一储液单元、第二储液单元以及多个管路，从而对通过溶解液可对第一储液单元、第二储液单元以及多个管路进行清洗，从而可将粘黏在管壁以及残余在第一储液单元、第二储液单元中的液态源溶解并排出，进而提升对第一储液单元、第二储液单元以及多个管路清洗的洁净度。

天眼查资料显示，上海良薇机电工程有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事建筑安装业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海良薇机电工程有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目20次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息81条，此外企业还拥有行政许可8个。

本文源自：金融界

作者：情报员