东莞触点智能装备申请晶圆键合机台电浆表面处理装置及方法专利，提高工作效率

金融界2025年4月10日消息，国家知识产权局信息显示，东莞触点智能装备有限公司申请一项名为“晶圆键合机台电浆表面处理装置及方法”的专利，公开号 CN 119786359 A，申请日期为 2024年11月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆键

合机台电浆表面处理装置及方法，该

处理方法包括步骤1：关闭第二舱门，

打开第一舱门，将待处理的晶圆放置

于缓冲腔室内，然后关闭第一舱门后，

对缓冲腔室内进行抽真空处理；步骤

2：开启第二舱门，将位于缓冲腔室内

的待处理晶圆转移至主舱室内，然后

关闭第二舱门，对主舱室内进行抽真

空处理；步骤3：待处理晶圆在主舱室

内完成电浆表面处理；步骤4：开启第

二舱门，将位于主舱室内的已处理晶

圆转移至缓冲腔室内然后关闭第二舱门步骤5 开启第

门，将位于缓冲腔室内的已处理晶圆取出即可；在整个处理过

程中主舱室未与外部空间连通，一直处于被抽真空负压状态，

不仅提高工作效率，并且可有效改善晶圆键合的良品率。

天眼查资料显示，东莞触点智能装备有限公司，成立于2016年，位于东莞市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2822.6066万人民币，实缴资本2469.083万人民币。通过天眼查大数据分析，东莞触点智能装备有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息72条，此外企业还拥有行政许可13个。

本文源自：金融界

作者：情报员