北方华创申请半导体工艺专利，至少解决磷酸药液温度与含水量无法平衡问题

金融界2025年5月2日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119905398A，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本申请公开了一种半导体工艺方法及半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种半导体工艺方法，用于通过工艺药液对工艺腔体内的晶圆进行工艺处理；所述半导体工艺方法包括：制备浓度为第一浓度，温度为第一温度的工艺药液；将所述工艺腔体内的压力由常压增大至预设压力，并将所述工艺药液由所述第一温度升高至第二温度；通过加压、加热后的工艺药液对所述工艺腔体内的晶圆进行工艺处理。本申请至少能够解决磷酸药液温度与含水量无法平衡，导致工艺效率低或者出现跳片、破片现象等问题。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1028次，财产线索方面有商标信息61条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

本文源自：金融界

作者：情报员