朗姆研究申请用于衬底处理系统的排放管线的气体冷却盖专利，降低排放管线温度

金融界2025年4月30日消息，国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“用于衬底处理系统的排放管线的气体冷却盖”的专利，公开号CN119895526A，申请日期为2023年8月。

专利摘要显示，一种用于衬底处理系统的排放连接器的气体冷却盖包含：第一盖部分，其被配置成设置在所述衬底处理系统的所述排放连接器的第一部分周围，并且包括：第一主体，其界定第一气体室和第二气体室。第一气体入口被设置在所述第一主体的外表面上，并与所述第一气体室流体连通。第一多个喷嘴被设置在所述第一盖部分的内表面上，并与所述第一气体室流体连通。第一多个排放端口被设置在所述第一盖部分的所述内表面上，并被配置成将位于所述第一盖部分和所述排放连接器的所述第一部分之间的气体引导至所述第一主体的所述第二气体室。

本文源自：金融界

作者：情报员