广东先导微取得斜面洗片装置专利，有助于减少冲洗液使用量降低生产成本

金融界2025年5月8日消息，国家知识产权局信息显示，广东先导微电子科技有限公司取得一项名为“一种斜面洗片装置”的专利，授权公告号CN222817450U，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本申请涉及半导体衬底材料制造技术领域，具体公开了一种斜面洗片装置，包括：支撑座与冲水架；所述支撑座上设置有法向倾斜朝上的斜面，并沿所述斜面的倾斜方向从上往下以依次置有多个清洗槽；所述清洗槽用于放置衬底片；所述冲水架设置有出水口；所述出水口朝向所述斜面。本方案提供的斜面洗片装置在对衬底片进行冲洗的过程中，冲洗液能够沿着斜面从位于上方的衬底片流至位于下方的衬底片，使得冲洗液在往下流动的过程中能够经过多片衬底片，从而能够提高对冲洗液的利用率，进而有助于减少冲洗液的使用量，降低生产成本。

天眼查资料显示，广东先导微电子科技有限公司，成立于2020年，位于清远市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本54384万人民币。通过天眼查大数据分析，广东先导微电子科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息18条，专利信息495条，此外企业还拥有行政许可182个。

本文源自：金融界

作者：情报员